Студент магистратуры МФТИ произвёл эксклюзивный вакуумный нагреватель для процесса осаждения, предназначенного для создания приборов с нанометровыми размерами элементов. Разработка позволяет нагревать виды кремния до 600C, что критически важно для производства полупроводниковых компонентов.
Разработка теперь - часть выпускной квалификационной работы Никиты Жидкова. Ключевой проблемой предыдущих моделей нагревателей было их ограничение по работе в чистом вакууме, что не позволяло проводить исследования в среде кислорода. Новый же нагреватель способен функционировать в атмосфере кислорода, что значительно расширяет возможности экспериментов. Это открывает путь к созданию материалов с уникальными характеристиками - кристалличности и стехиометрического состава.
В основе нового прибора лежат отводящие тепло пластины из керамики и оксида алюминия, также в его состав входит проволока из сочетания металлов "фехраль". Экспериментальные проверки доказали работоспособность разработки. Данное изделие более устойчиво для работы в среде с кислородом и существенно дешевле подобных изделий.
Разработка нагревателя происходит в рамках важного проекта госпрограммы «Приоритет 2030».
Федеральный
﹀